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真空镀膜在工业中的应用

发表时间:2019/8/9 17:04:01
  首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作仟何预期比例的反射或透射材料,也可以做成对某种波长的吸收,而对另一波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始,一直到新型建筑物的大宙镀膜玻璃,都很需要。增透膜则大量用于照相机。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位。各种规模的集成电路,包括存储器、运算器、高速逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器、约瑟夫逊器件、电荷铝合器件(CCD)也都用到各种薄膜。在显示光器件方面,录像磁头、高密度录像带以及平面显示装置的透明导电膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜制备。在元件方面,在真空中蒸发镍铬,铬或金属陶瓷可以制造电阻,在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钦等可以制造电容器,蒸发硒可以得静电复印机用的硒鼓、蒸发铣酸钡可以制造磁致伸缩的超声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束聚变反应用的微珠镀层。此外还可对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝等蒸镀装饰用薄膜,以及用于溅射镀、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备铱金制航,如不锈钢薄板、镜面板、僵柱、扶手、床托架、楼梯栏杆等白前正在盛行。

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