为实现真空镀膜机真空装置的程序控制、真空工艺流程的自动转换、真空工艺参数的自动调节，通常是用一些自动控制元件、真空计、压力控制仪和工业自动化仪表、自动控制装置、微型计算机等组成的自动控制系统来实现。不同的真空装置其自动控制系统不同，即使是同一类型真空装置，因控制的技术要求不同，所采用的自动控制系统也不同。

       常用的真空装置自动控制系统有继电器控制系统、压力控制仪或工业自动化调节仪表系统、可编程序控制系统、计算机控制系统等。它们各具特点，分别适用于不同的真空装置的控制。

       自动控制系统是真空装置的重要组成部分，它对提高真空装置的技术性能起着重要作用。在确定真空装置的控制系统时，应在大限度地满足真空装置及其真空工艺对控制要求的前提下，妥善处理真空装置的机械结构和自动控制系统的关系，力求控制系统简单、经济，不宜盲目追求高度自动化；要合理选择自动控制元件、自动仪表及自动控制装置，保证真空装置安全、经济、可靠，并且便于操作和维修。

       真空装置的自动控制系统的种类繁多，能实现的控制目标也不同，因而其设计方法也不相同。通常是根据真空装置的类型、技术指标、工艺流程、传动参数、动作要求及现场条件进行。

       自动控制系统设计包括原理设计和工艺设计。其原理设计主要是选择控制方案、绘制控制原理图、编制设计计算说明书等；工艺设计的目的是实现原理设计的技术指标，为控制装置的制造、调试、使用和维修提供控制系统的元器件布置图、总接线图，编写使用说明书等。